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氟腐蚀毁整条线?除氟剂是半导体厂的“设备守护神”!

时间:2025-6-25 来源:kefu 点击:27
  

“晶圆清洗线突发故障!价值千万的精密设备管路被腐蚀穿孔,高纯化学品泄漏污染整批硅片… 元凶竟是清洗液中痕量氟离子失控积累!”某芯片制造厂设备总监王博士的惨痛教训,揭示了工业制程中氟离子管控的极端重要性。在半导体、光伏、高端显示面板、特种化工等领域:

  • “蚀骨”氟离子: 即使ppb(十亿分之一)级别的氟离子,在高温、高纯环境下也能缓慢腐蚀不锈钢、石英、陶瓷等设备核心部件,造成穿孔、泄漏、污染。

  • “污染”杀手: 氟离子残留污染产品(如晶圆、玻璃基板、高纯化学品),导致性能劣化、良率暴跌、批次报废

  • “堵塞”元凶: 氟化物结晶沉积堵塞精密喷嘴、阀门、管道,降低效率甚至引发故障

顶级除氟剂,如何成为制程“除氟特工队”?

  • “ppb级”深度净化:

    • 超强吸附/沉淀能力: 针对高纯水、清洗液、蚀刻液再生液、循环冷却水等,能将氟离子深度去除至ppb级(<100ppb甚至<10ppb),满足半导体等超纯环境苛刻要求。

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