“晶圆清洗线突发故障!价值千万的精密设备管路被腐蚀穿孔,高纯化学品泄漏污染整批硅片… 元凶竟是清洗液中痕量氟离子失控积累!”某芯片制造厂设备总监王博士的惨痛教训,揭示了工业制程中氟离子管控的极端重要性。在半导体、光伏、高端显示面板、特种化工等领域:
“蚀骨”氟离子: 即使ppb(十亿分之一)级别的氟离子,在高温、高纯环境下也能缓慢腐蚀不锈钢、石英、陶瓷等设备核心部件,造成穿孔、泄漏、污染。
“污染”杀手: 氟离子残留污染产品(如晶圆、玻璃基板、高纯化学品),导致性能劣化、良率暴跌、批次报废。
“堵塞”元凶: 氟化物结晶沉积堵塞精密喷嘴、阀门、管道,降低效率甚至引发故障。
顶级除氟剂,如何成为制程“除氟特工队”?
“ppb级”深度净化:
超强吸附/沉淀能力: 针对高纯水、清洗液、蚀刻液再生液、循环冷却水等,能将氟离子深度去除至ppb级(<100ppb甚至<10ppb),满足半导体等超纯环境苛刻要求。